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| ● | ランニングコスト (当社比) 従来のSPMによるディップ洗浄方式に比べて、 スピン洗浄方式:「1/10」に低減。 ディップ洗浄方式:「1/17」に低減。 |
| ● | 洗浄時間 スピン洗浄方式:「1分程度」で除去可能。 ディップ洗浄方式:「5〜10分」で除去可能。 (φ8インチウェハー、レジスト厚1μm の当社テストサンプルの場合。) |
システム図（単位：mm）
仕様
■オゾン水供給性能
| 濃度 | 200mg/L以上 |
| 温度 | 室温〜70℃ |
| 流量 | 8L/min (4L/min×2系統) |
■装置外形寸法と質量
| 本体ユニット | (幅) 1,200mm × (奥行) 700mm × (高さ) 2,000mm (排気ダクトを除く) |
| 約600kg | |
| オゾン水加熱ユニット | (幅) 900mm × (奥行) 700mm × (高さ) 1,500mm (排気ダクトを除く) |
| 約200kg |
■必要ユーティリティー
(本体ユニットとオゾン水加熱ユニットの合計量)
| 電源 | 3相 200V 69kVA |
| 超純水 (DW) | 10L/min 以上、0.3〜0.7MPa(G) |
| 市水 (純水) | 10L/min 以上、0.2〜0.7MPa(G) |
| 酸素ガス (O2) | 35L/min (20℃、0.1MPa換算値) 以上、0.5〜0.7MPa(G) |
| 窒素ガス (N2) | 0.3L/min (20℃、0.1MPa換算値) 以上、0.5〜0.7MPa(G) |
| 二酸化炭素ガス (CO2) | 2L/min (0℃、0.1MPa換算値) 以上、0.65〜0.7MPa(G) |
| 冷却水 | 33L/min 以上、0.4〜0.45MPa(G) |
| エアー (CDA) | 770L/min (20℃、0.1MPa換算値) 以上、0.6〜0.7MPa(G) |
| 排水 | 10L/min 以上、0.6〜0.7MPa(G) |
| 排気 | 8Nm3/min 以上、-200Pa(G) |
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詳細は、仕様書をご参照ください。
